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富加镓业4英寸VB法氧化镓衬底性能达到国际先进水平
金十数据2月20日讯,记者从杭州光学精密机械研究所获悉,杭州光机所孵育企业杭州富加镓业在垂直布里奇曼(VB)法氧化镓晶体生长领域取得重大突破,经测试单晶质量达到国际先进水平,现同步向市场推出晶体生长设备及工艺包。测试结果表明,使用富加镓业设备生长出的4英寸VB晶体内无孪晶,单晶衬底XRD半高全宽(FWHM)优于50arcsec,与导模法制备的氧化镓单晶衬底质量相当,性能达到国际先进水平。